第368章 光刻機故障(上)
2023-12-08 15:49:47 作者: 領航
「我們數百名職工和幾十位工程師、技術員,連續排查了好幾天,也沒找出問題出在什麼地方。後來還是在中科院半導體研究所的梁安平教授出手幫忙,才找出了電源雜波問題,重新安裝了一台變壓器,這才能生產出合格的晶片產品。」
說話的功夫,孟小剛已經接到手下的通知,趕了過來,「老闆,您找我,咦,這些人是?」
或許是剛剛那個小組長沒轉述清楚,或許是孟小剛來的匆忙,聽漏了,他竟然不知道視察團的事情。吳志航只好開口給他介紹道:「這位是帶隊過來視察的李領導,這位是咱們深圳的梁市長,後面這些,都是省城來的領導或專家。」
說罷,吳志航又轉向李高官等人,說道:「這位孟小剛同樣出身中科院半導體研究所,是梁教授的學生,現在任北極星晶圓廠廠長。」
「原來是李領導、梁市長和各位領導,歡迎來到北極星晶圓廠參觀。」
孟小剛熱情的迎上去,和李高官等人一一握手問好,表現從容不迫,頗有大將之風。孟小剛自從當了廠長,接觸的人多了,情商上升的非常明顯,現在他接人待物,老練圓滑,再也看不到當初那股書呆子氣。
待孟小剛和視察團的人打完招呼,吳志航這才開始向他詢問光刻機的情況,「剛剛聽巡視的小組長說,你正帶人維修光刻機,哪台光刻機壞了,情況嚴重嗎?」
說道光刻機,孟小剛收起笑容,頗為鬱悶的說道:「還是咱們自產的那批光刻機,這次壞的是三號機,和一號機的毛病一樣,依舊是雙工台移動部件出了故障,定位精度達不到要求,加工出來的晶片全部都是廢品。」
「那找到原因了嗎?如果是一台光刻機出問題,還可能是偶然事件,現在兩台光刻機都出問題,還是一樣的毛病,那就是咱們的產品存在缺陷了,必須重視起來。」
孟小剛沉吟一下,說道:「我和其他幾名工程師,剛剛已經把負責移動和定位的伺服電機、感應器、傳動部件,全部拆了出來,我們推測,問題很可能出現在這三個部件的身上。有您提供的那兩台五軸數控加工工具機,咱們的機械加工精度提上來了,但加工用的合金鋼材質量相較島國的產品,依舊有所欠缺。加工出來的零件當時使用沒問題,但工作時間一長,磨損加劇,問題就暴露出來了。」
吳志航點了點頭,認可了孟小剛的推測,「這樣吧,你是晶圓廠的廠長,比我更清楚晶圓廠這裡的現狀,就由你帶著李領導他們去參觀,我去光刻機那邊看看情況。如果咱們國產的合金鋼真的不堪使用,只能採購一批進口貨,先頂上了。」
說罷,吳志航向李高官和梁市長告罪一聲,將導遊的任務交給了孟小剛,他本人則腳步匆匆的往車間深處走了過去。
吳志航趕到損壞的光刻機旁邊的時候,光刻機研發實驗室的梁安平教授,已經帶著幾名研究員,趕了過來。他們帶來了一套備用的伺服電機和傳動零件,正在進行替換安裝。見到吳志航趕來,梁安平將手上的工作交給副手,開口詢問道:「聽說省里來了個視察團,正在晶圓廠這邊參觀,你這個當大老闆的,不陪著領導,怎麼跑到這裡來了?」
「他們有小剛陪著就可以了,他才是晶圓廠的廠長,當這個嚮導更合適。我已經帶著視察團在咱們公司轉了大半天,說話說的嗓子都快冒煙了,正好休息一下。聽說小剛說,三號光刻機也出了故障,和一號機的毛病完全一樣,找到問題癥結了嗎?」
梁安平從一名工程師手裡,拿過一枚拇指大小的伺服電機,給吳志航展示了一下,說道:「剛剛我用卡尺初步測量了一下,這枚伺服電機主軸,出現了將近半毫米的偏心。它一出毛病,和後面傳動部件的咬合就出現了不嚴密的現象,然後層層傳遞,最終讓整個傳動系統全部損壞罷工。這次損壞方式雖然和一號機的情況有所不同,但反應出的問題,依舊集中到了原材料上。咱們從國內鋼鐵廠搞來的特種和金鋼,在韌性,耐磨損,耐高溫,等方面,和島國的產品,依舊有不少的差距。」
吳志航從梁安平手裡接過伺服電機,用手指捻動了一下,齒輪帶動主軸旋轉了好幾圈重新停下。就算不用工具測量,只憑肉眼,吳志航就看出了主軸存在不小的偏心問題,他皺了皺眉頭,說道:「當初我搞來五軸加工工具機的時候,不是交給你們幾張合金的配方嗎。按說那些材料的性能,用來加工伺服電機主軸和傳動零件,應該足夠使用了。這都過去快一個月了,難道煉鋼廠方面,還沒講那些合金冶煉出來?」
梁安平苦笑了一下,說道:「你提供的合金配方,性能確實十分的強大,甚至都超過了島國和歐美國家對外出售的合金材料的性能。但是生產哪幾種合金材料,需要非常先進的煉鋼電爐,我們幾乎找遍了國內的大小煉鋼廠,也沒找到符合要求的電爐。最終還是首鋼的材料實驗室接下了任務,用他們實驗室進口的小型電爐嘗試著生產了一批原材料。現在咱們光刻機上使用的很多零部件的原材料,就是他們按照你提供的配方,生產出來的合金鋼。當時測試的時候,感覺性能已經很逆天了,雖然沒達到你在資料上標註的性能,但比起國內先前的合金鋼,要強了太多。現在看來,這些依舊遠遠不夠,材料性能這方面,還真是來不得半點的馬虎。」
「那現在問題如何解決,你們現在替換上去的零件,依舊是使用那批合金鋼加工的吧,那質量不是依舊不合格,換上去能頂十天還是半個月?要不,咱們先從島國進口一批高性能合金鋼應付著,等鋼鐵廠那邊攻克了合金鋼量產問題,咱們再換回國產貨。」