第277章 光刻機測試（上）

  寧雪畫完一個線條，放下鉛筆，站直身體，活動一下發酸的手腕，說道：「這是打板用的圖紙，畫幅太大，家裡的印表機根本列印不出來。除非購買專用的繪圖儀，才能藉助計算機畫這麼大的圖紙。」

  吳志航尷尬一笑，說道：「我對你們服裝行業還真不太了解，還以為服裝設計圖和電路圖一樣，都能用印表機列印呢。小雪，深圳那邊研發的光刻機已經生產出了樣機，明天我要回國去見證光刻機的第一次測試，你要一起回去嗎？」

  寧雪搖搖頭，說道：「飛雪公司剛剛創建，連一件產品都沒賣出去，我肯定不能此時回國，你先自己回去吧。天地玄門不是能設置三個固定穿越點嗎，你在淺水灣別墅那裡設一個穿越點，以後白天在深圳上班，晚上通過天地玄門回淺水灣別墅陪我睡覺不就可以了。」

  吳志航湊過頭去，在寧雪額頭親了一口，說道：「還是老婆你聰明，有了天地玄門，咱們就再也不怕兩地分居了。」

  寧雪臉頰羞紅的將吳志航推開，說道：「這還在公司呢，不要動手動腳的。」

  第二天，吳志航驅車返回了深圳電子產業園，連別墅也沒回，第一時間就來到了晶圓工廠。光刻機需要工作在超高無塵環境下，剛剛組裝完成的測試樣機正在無塵車間內安裝調試。吳志航換了一身白色防塵服，戴上防塵帽，通過風淋間進入無塵車間。

  此時是上午十點左右，處於每天的早班時間，晶圓工廠的四條晶片生產線正在全力運作，數千名工人，正在生產線上，有條不紊的工作。走過生產區域，進入測試區域，以梁安平為首的幾十名研究人員，正圍在一台一人多高的設備，做最後的調試，旁邊還有幾名北極星公司的高管站在那裡圍觀。吳志航湊上前去，朝研發部長吳光輝問道：「這台就是光刻機研發實驗室製作出的第一台光刻機，什麼時候能開始光刻測試？」

  聽到有人提問，楊威力、丁小雅等人同時轉頭看過來，見是老闆吳志航，紛紛打招呼問好，吳光輝出聲給吳志航解釋道：「對，就是這台機器，昨天組裝完成之後，第一時間就從研發大樓搬運到了無塵車間，經過一天一夜的安裝調試，現在已經要差不多了。」

  吳志航滿意的點點頭，圍著光刻機轉了一圈，這台設備為全封閉結構，就像一個四四方方的鐵皮文件櫃，外殼噴塗成了乳白色，左右兩側，設置有矽晶圓入口和出口，靠外一側安裝著一個控制面板和一台大屁股顯示器。他有些疑惑的問道：「只看外表，和佳能、尼康的光刻機似乎都不太一樣，這是對外殼進行了優化嗎？」

  吳光輝搖搖頭，說道：「不止優化了外殼，也優化了部分內部結構。老闆你提供的資料里不是有一部分0.5微米光刻機的預研資料嗎，梁教授他們研發一微米光刻機的時候，參考了0.5微米光刻機的內部結構，對設計圖進行了一些更改優化。理論上來說，這些優化對晶圓的加工速度和加工精度，都有所提升，實際情況如何，還需要測試過後才知道。」

  梁安平等人又忙活了半個多小時，光刻機終於調試完成，將提前準備好的掩膜版固定到掩膜版工作檯上。楊威力通過對講機溝通，讓一位名為白巧玲的女工，送來了幾十片已經塗好光刻膠的矽晶圓，梁安平親自動手，將矽晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上，然後按下操作面板上的啟動按鈕。光刻機內部傳出細微的機械轉動聲音，一張矽晶圓被機械臂送進光刻機內部，在深色玻璃觀察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，開始對矽晶圓進行加工。

  見狀，吳志航出聲詢問道：「這台光刻機使用的是哪種光源，是高壓汞燈產生的436nm g-line和365nm i-line，還是248nm的KrF（氟化氪）準分子雷射作為光源？」

  吳光輝答道：「現在使用的是高壓汞燈產生的365nm i-line作為光刻光源，理論上，這種光源能一直將光刻機的加工精度提升到0.35微米，作為未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。準分子雷射光源，是下一代光刻機光源技術，咱們研發部已經立項開始研發，但這種技術在世界範圍內，也是最前沿研發項目，開發難度非常高，不是短期內能攻克的。」

  這台光刻機的加工速度還是很快的，即使是初次測試，白巧玲拿來的幾十片矽晶圓也在二分鐘內，全部完成了光刻加工。這些光滑如鏡的矽晶圓上，多了很多方塊狀的紋路。測試用的掩膜版，是晶圓工廠正在生產的ARM1晶片掩膜版，其複雜程度和尺寸大小，是晶圓工廠出產的所有晶片之最。按照原本的計劃，第一次光刻測試，應該選用最為簡單的單片機晶片作為加工目標，這樣一來，就可以從易到難，逐步查漏補缺，將光刻機修改完善。但梁安平和幾個主要研發人員，對光刻機測試樣機非常有信心，直接上了最大難度，也是需求量最大的ARM1晶片。

  北極星公司推出的第二代遊戲掌機上市之後，立刻受到電玩愛好者的熱捧，僅僅上市半個多月，就售出了300萬台。隨機配送的《超級瑪麗》和《功夫小子》兩款遊戲，在畫面、音效、遊戲可玩性上，碾壓市面上的所有遊戲。遊戲掌機熱銷，作為主控晶片的ARM1需求量大增，可是產品合格率始終徘徊在60%~70%之間，提升速度非常緩慢。經過孟小剛、梁安平，幾個相關領域的專家研究分析，認為ARM1合格率過低的原因恰恰是光刻機精準度不達標造成的。晶圓工廠內的這幾條晶片生產線畢竟是使用了一二十年的設備，能正常生產晶片就不錯了，想要苛求加工參數完全達標，幾乎不可能。其中影響最大的，就是作為核心設備的光刻機。