第610章 下一代光源的抉擇

  氣氛在這一刻驟然冷了下來。

  文森蒂今年已年過六旬，頭髮和鬍鬚都已經花白，在短暫的驚愕後，怒意瞬間升起。

  他站起身，雙手支撐在桌沿上，怒目望著史坦利。

  「我可以認為你這是在對德州儀器進行指控嗎？」

  史坦利毫不退縮：「我不是對你進行指控，我只是坦言一個事實。那就是，你們為大陸的遠芯提供了多少幫助，你們是明白的！」

  「扯淡吧你！」卡莉的火氣騰就上來了：「星海成立在遠芯之後，你說我們提供幫助？」

  史坦利冷冷一笑：「星海的最大股東是誰？」

  「是星海基金。」沒等卡莉回答，史坦利繼續道：「星海基金的最大股東是誰？」

  「星海的大股東是誰不重要。」卡莉瞪著史坦利，一字一句道：「我只告訴你，星海科技是一家總部位於矽谷，並遵守本國法律，其董事長以及超過四分之三的員工都是本國公民，其餘人也是擁有合法永久居住權的矽谷企業。」

  「我們與遠芯科技的所有合作，都是在互利互惠的基礎上，並遵守相關的法律規定所進行的合作，我希望你明白這一點。」

  卡莉說完後便騰地起身，乾脆利索地走出辦公室。

  有了卡莉的這一通火，文森蒂反而冷靜了下來。

  他皺著眉，沉默凝視了這位能源部中以強勢著稱，還明顯帶著冷戰思維的技術官僚幾秒後慢慢道：「史坦利先生，你任意誇大的做派，很有克格勃的風采。」

  史坦利便聳了聳肩，表示自己根本不介意這個評價。

  這時，張汝金突然悠悠道。

  「史坦利先生，我想請教一個問題。」

  「眾所周知，銅的電阻小於鋁，因此可以在更小的面積上承載更大的電流。而在大規模集成電路中，如果用銅導線工藝替換如今的鋁導線，能達到更密集的電晶體設計，提高晶片效能。同時，銅的抗電子遷移能力也優於鋁，因此，處理器的可靠性也會得到極大的提高。」

  張汝金知道對方是技術官僚，對這些門兒清，因此並沒有刻意解釋，而是直接問道：「德州儀器實現了銅導線工藝，閣下認為，該工藝應可以授權給我們嗎？」

  史坦利先是怔了一下，隨即便是一笑，然後又望向文森蒂：「你們實現了銅導線工藝？」

  文森蒂理都懶得理他。

  張汝金微微一笑：「我們德遠半導體，實現了目前最優秀的銅導線工藝，比IBM的優秀許多。」

  史坦利的笑瞬間凝固。

  「而且，我們願意授權給德儀。」

  *

  *

  EUV聯盟的成立，無疑表明了能源部或者說政府的態度。那就是，技術一定要掌握在自己手裡。

  蘇遠山不一樣，他就是要要噁心一下那幫人。

  更何況，相比遠芯接下來的浸潤式技術，銅導線工藝遠談不上核心。

  銅導線工藝只能讓德遠領先一時，再加上德遠現在的產能主要還是集中在YX架構以及快閃記憶體上，對於銅導線需求最急切的X86處理器反而因為市場緣故並沒有產能，發揮不了太大的作用。

  因此，授權給德儀，讓德儀和星海聯手，一邊噁心AI兩家，同時再踩一腳島上那兩家想爬起來的代工廠，是怎麼看怎麼划算的事。

  事實上，因為遠芯長期不懈地堅持挖人，島上的工程師已經流失了很多。以至於德遠科技園這邊的小區都被人稱為小TW——小區里一大半都是島上的工程師。

  蘇遠山從首都直飛滬市。

  ……

  「梁博士，晶圓廠製程工藝我是純粹的外行。」

  蘇遠山和梁夢松走在科技園的葡萄長廊下——這是張汝金見遠芯這邊葡萄路搞得挺好，刻意也copy了一個，再加上可以在葡萄架下聽到牛郎織女說話的傳說，對島上這幫工程師的安撫效果意想不到的好。

  蘇遠山找了個陰涼的地方和梁夢松一道坐下，呵呵笑道：「所以我就不班門弄斧了。」

  「哪裡，山總的全領域精通，是世人皆知的。」梁夢松說得很坦然：「我們還是希望山總能夠指出方向。」

  「真不敢——不過如果說方向的話，那就只有一條。」

  「德遠的製程優先，不用考慮任何其他因素的優先。就算今後上市了，要考慮到這樣那樣，也要堅定不移地這麼走——股票愛買買，不買拉倒，大不了遠芯回購。」

  梁夢松舔了一下嘴唇，身上升起一股燥熱。

  ——廠里都說自己是個技術狂人，但自己這點狂，在山總面前，還真的只算小兒科了。

  「山總，這可是你說的。」梁夢松笑了起來：「製程推進很花錢的。」

  「花錢怕什麼？只要在關鍵製程上領先一步，一筆單子就賺回來了。晶圓廠是個贏家通吃的行業，誰掌握了先進位程，誰就掌握了高端晶片代工的定價權。」

  梁夢松點頭，他當然清楚，今後的製程推進會越來越難，投入需求也會越來越大——當然回報也肯定足夠豐厚。

  但遠芯還有個問題。

  「山總，那要是遇到光刻機禁售……怎麼辦？」

  說到光刻機，蘇遠山馬上便沉默了下來。

  EUV已經如歷史軌跡一樣成立——ASML這個荷蘭小公司，在簽下了幾乎是賣身契之後終於得以進入了EUV聯盟。

  可以想像，在接下來的數年內，ASML將會迅速從技術上同時對尼康佳能進行追趕，並如歷史軌跡一般完成EUV的技術構想。

  但歷史軌跡又不一樣的是，ASML完成對尼康佳能超越的關鍵團隊，目前在蘇遠山手上。

  「只要國產光刻機仍然在追趕，禁售就不會發生。」蘇遠山抿著嘴，沉默地望向遠處的一棟大樓——那裡便是林本堅和趙凱東的聯合團隊所在的實驗室。

  「而且我們一直都與多方的光刻機企業有技術支持和合作，這種交錯的關係之下，除非德遠受到了明確的針對，否則不會發生。」

  梁夢松不擅長這些「大棋」，他只需要知道，蘇遠山說不會，那他就不用擔心了。

  而且德遠目前也確實是尼康的友好客戶，在去年WA協定簽署後，國內半導體產業都風聲鶴唳了許久，尼康為此還特意安排了工期……後面證明，霓國方面除了加強了檢查之外，並沒有干涉德遠的訂單。

  「總之走著看，我們技術越有優勢，就越有討價還價的本錢。」說著蘇遠山站起身，朝著前方的實驗室走去。

  ……

  「林叔，趙叔。」

  蘇遠山見兩人同時站在門口，連忙上前握手，梁夢松也上前打了招呼。

  見到跟在蘇遠山身後的梁夢松，林本堅倒沒什麼，趙凱東則是微怔了一下——此時張汝金不在，按照規矩，負責接待陪同蘇遠山的顯然應該是德遠的二把手來……

  按照職位算，梁夢松只能排到德遠的第五。

  這架勢，看來蘇遠山是真鐵了心的要全力推製程突破了。

  在接待室落座後，蘇遠山簡單問了一下目前的進度——在光源領域，因為林本堅的加入，趙凱東團隊進展得很快，他們即將完成193nm的準分子雷射光源技術。

  雖然比起國外同行落後了差不多一年多，但好歹算是追上了。而且就現有的技術和理論來看，193nm將會成為很長一段時間內都無法突破的光源。否則燈塔國那邊也不會成立EUV聯盟，找尋新的出路了。

  當然，對於如何跨越193nm，除了EUV之外，也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在準備攻克157nm的HeF2雷射，以及電子束投射(EPL)，離子投射(IPL)、甚至X光等等……

  總之，就是解決的辦法一籮筐，放眼望去全是路。

  但具體哪一條是真正的正道，誰也不知道。

  嗯，只有蘇遠山一個人知道。

  因為這些方案，都敗給了眼前這個樂呵呵的老爺子。

  「林叔，趙叔，193nm之後你們的想法是什麼？」坐到沙發上，蘇遠山端起茶杯抿了一口。

  趙凱東和林本堅對視了一眼，隨後笑著道：「193nm看樣子都要停留很久，你這麼著急？」

  「我本來是不著急的。」蘇遠山很坦白：「主要是老美那邊搞EUV，搞得我有點心慌。」

  趙凱東便笑著搖了搖頭：「雖然說光源要比光刻機領先很多，但193nm的光源現在都尚未用在光刻機上，你心慌也沒用。」

  「至於說下一代光源，其實我和老林並不十分看好157nm，因為HeF2雷射可以說要完全推翻現有的光路系統，非但物鏡要重新搞，光刻膠也要重新研製……最主要的是，波長步進提升不大，且投入產出比太高了。」

  「EUV，聽起來很不錯，有點下一代光源的意思。但你看EUV聯盟那架勢……就不是我們這個小作坊能夠完成的。」

  蘇遠山便笑道：「有您二位在，咱們這實驗室可不是小作坊。」

  「呵呵，不管是不是，但設計師不是有句話嗎？摸著石頭過河……既然前面有人趟路了，那我們也乾脆摸著石頭過河就行了。」趙凱東笑道：「intel不是拉了那麼多企業嗎？你也可以拉一個嘛。」

  蘇遠山：「……」

  他算是聽明白了，趙凱東的意思是，讓他也搞個EUV聯盟。

  蘇遠山倒是想搞，可現在要是搞的話，那就不是遠芯主導，而是所有人給霓國人打工。

  於是他便望向林本堅。

  「林叔？你有什麼妙招沒有？」

  （註：雖然有點枯燥，但……總歸還是得寫。。。）